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製程流程圖
製程能力分析

● 板厚(Min) 規格:0.05mm  量產實績:0.05mm

● 板厚(Max) 規格:1.6mm 量產實績:1.5mm

● 發料尺寸(Min) 規格:12”*14”

● 發料尺寸(Max) 規格:24”*28”

● 線寬/線距(Min) 規格:50/50μm 量產實績:50/62.5μm

平均良率

● 板厚:4mil 1/1 ● 線寬:3mil ● 間距:2.5mil ● 產品類別:手機板

前處理線

● 硫酸雙氧水系列採面積自動添加控制

● 微蝕速率控制:0.4~1.0μm

● 配備硫酸銅回收機

自動塗佈乾燥線

● 塗佈輪型式48grooves

● 烘乾段5段(1段IR.3段熱風.1段冷風)

● 膜厚控制:7.5~10.0μm

(Mac Dermid 1407 油墨)

塗佈方式
塗佈輪溝紋型式
自動曝光線

● 解析度:50μm

● 產能:3片/min

● 層間對準度:50μm

● 對位系統:雙CCD置中對位

D.E.S線

● 顯影:碳酸鈉(自動添加)

● 蝕刻:氯化銅(鹽酸、雙氧水系列)AUQA控制

● 去墨:氫氧化鈉(自動添加)